International Science and Technology Journal

Home < Articles < Article Details

Chemical Analysis and Immersion Testing of a Hydrocarbon Film (Benzene) After Deposition on Glass Slides Using Plasma-Enhanced Chemical Vapor Deposition (PECVD)

Researcher(s):
  • Mustafa Abu Ajila Misbah
  • Dr. Mohsan Salah Eldakli
  • Dr. Bashir Magtof Ghebllawiy
Institution:Faculty of Engineering, General Department, University of Zawia - Libya
School of Basic Sciences, The Libyan Academy. - Libya
Faculty of Science,University of Zawia - Libya
Field:General Sciences: Mathematics, Statistics and Physics
Published in:37th volume - July 2025
الملخص
الافلام الرقيقة التي ترسب على سطح زجاجي يمكن ترسيبها بطرق مختلفة ومنها طرق فيزيائية (التبخير الحراري في الفراغ، الترذيذ.)، وطرق كيميائية (الترسيب الكيميائي، الترسيب الكيميائي البخاري، التحليل الكيميائي الحراري.) وفي هذه الورقة تم ترسيب أفلام رقيقة على شرائح زجاجية باستخدام تقنية الترسيب البخاري الكيميائي المدعم بالبلازما المتولدة بواسطة موجات الميكروويف PECVD عند ضغوط (10،30 و50 ملي تور) خلال أزمنة مختلفة (5، 10 و30 دقيقة). وأظهرت النتائج أن زيادة زمن الترسيب أثرت بشكل كبير على سمك الغشاء في حين أن الالتصاق لا يعتمد لا يعتمد على زمن الترسيب.............. الكلمات المفتاحية:............. التحليل الكيميائي، اختبار الغمر، فيلم هيدروكربوني، شرائح زجاجية.
Abstract
Thin films deposited on glass surfaces can be produced by various methods, including physical methods (thermal evaporation in vacuum, sputtering, etc.) and chemical methods (chemical deposition, chemical vapor deposition, thermal chemical analysis, etc.). In this paper, thin films were deposited on glass slides using the plasma-enhanced chemical vapor deposition (PECVD) technique at pressures (10,30 and 50 mTorr) for varying durations of (5,10 and 15 minutes). In addition, the results indicates that increasing the deposition time significantly influenced the film thickness while the adhesion does not directly depend on time. ..................... Keywords: ...............Chemical Analysis, Immersion Testing, Hydrocarbon Film, Glass Slides.